體積電阻率表面電阻率測試儀電場均勻程度和介質的厚度

　　處于均勻電場中的固體介質，其擊穿電壓往往較高，且隨介質厚度的增加近似地成線性增大若在不均勻電場中，介質厚度增加將使電場更不均勻，于是擊穿電壓不再隨厚度的增加而線性上升。當厚度增加使散熱困難到可能引起熱擊穿時，增加厚度的意義就更小了。

　　

　　常用的固體介質一般都含有雜質和氣隙，這時即使處于均勻電場中，介質內部的電場分布也是不均勻的，較大電場強度集中在氣隙處，使擊穿電壓下降。如果經過真空干燥、真空浸油或浸漆處理，則擊穿電壓可明顯提高。

體積電阻率表面電阻率測試儀頻率

　　在電擊穿區域內，如果頻率的變化不造成電場均勻度的改變，則擊穿電壓與頻率幾乎無關。在熱擊穿區域內，如果頻率使和變化不大，則擊穿電壓將與頻率的平方根成反比。如厚度為的玻璃，在工頻時的擊穿電壓為(有效值)，而在高頻時擊穿電壓僅為(有效值)。這事因為頻率上升介質損耗上升，導致發熱，促使熱擊穿過程的發展。